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一种简单的喷雾热分解制膜方法

信息来源:本站 | 发布日期: 2020-03-18 | 浏览量:
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喷雾热分解制膜是以液体物质为制膜基料,雾化后喷射到高温衬底上晶化成膜。对液体要求较低,掺杂准确容易,对成膜环境要求不高,装置和成膜工艺简单,成膜结晶温度低,面积大,均匀。还可以制备超微颗粒粉体。同时分析了成膜机理。利用本方法已成功的制备出PZT铁电薄膜、MgO薄膜、ZnO系压薄膜、SnO多晶膜等,并给出制膜条件和XRD图。

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