本发明涉及一种薄膜制备的喷雾热分解方法，该方法首先配制所需金属盐溶液，然后经过压缩空气雾化器，使溶液雾化，在载流气体的带动下喷进放置有被加热基板的容器中，雾体经过烘烤后挥发去溶剂并进一步分解沉积在基板上成膜。该方法易于控制化学计量比，具有良好的取向性和外延性、成本低、不需多次镀膜，同时雾化时不发热，而且雾量稳定，不需冷却装置。该方法可制备金属氧化物薄膜。